衍射光學元件的功效是什么？

自1960年臺激光發生器面世至今，歷經近70年的發展趨勢，激光設備早已產生了巨大的產業鏈經營規模，廣泛運用于工業生產生產加工、美容醫療、商業服務、科學研究、信息內容和國防等好幾個行業。不一樣的應用領域對激光器的輸出功率、光波長、光斑樣子等擁有不一樣的規定，而要完成光斑樣子的更改，則離不了光線整形美容器。而衍射光學元件(DiffractiveOpticalElements)通稱DOE，又被稱為二元電子光學元器件，關鍵用以激光整形美容，例如勻稱化、自準直、聚焦點、產生特殊圖案設計等。

衍射光學元件(DifractiveOpticalElement，DOE)是相位差元器件，它應用置入在元器件中的薄薄膜光學將鍵入激光操縱為各種各樣輸出輪廊和樣子。衍射電子光學元器件可完成很多作用跟光實際操作，而這在規范映射電子光學元器件中不是行得通的。

在很多運用中，這種作用十分有利，能夠明顯提升系統軟件特性。選用衍射光學元件開展光線整形美容是近年來發展趨勢起來的十分便捷、靈便、功能齊全的光線整形美容方法。DOE可適用各種類型的鍵入激光器(如多模高斯函數激光器、多模光纖激光器等)，在激光器焦表面產生特定的光斑樣子和光照強度遍布，還能夠完成在激光器散播方位特殊的光照強度遍布。

典型性的作用包含：造成坡屋頂遍布圓光斑或矩形框光斑;造成線型遍布光斑;將非勻稱多模光纖激光器開展勻化;造成環狀及其多環等光斑遍布;造成一維、二維分束激光器遍布;在傳送方位上產生多聚焦點及其長焦鏡頭深遍布等。

1、衍射的定義

光順著直線傳播，當光越過一個小圓孔或歷經一個輪廊明晰的邊沿時，沿小圓孔邊沿造成了干預圖型，結果獲得了一個模糊不清的圖象，而不是期待發生在光和黑影中間的清楚邊沿。光看起來沿間隙邊沿彎折了。這類狀況稱之為衍射。

2、衍射高效率

衍射高效率是點評衍射光學元件及其帶有衍射光學元件的折衍射混和自準直的關鍵指標值之一。光源根據衍射光學元件后，會造成好幾個衍射級次，一般僅僅關心主衍射級次的光源，別的衍射級次的光源在主衍射級像表面產生雜散光眼，減少像面的飽和度。因而，衍射光學元件的衍射高效率立即危害到衍射光學元件的顯像品質，對衍射光學元件衍射高效率的精準測量是十分必要的。

3、掩膜版的衍射

光的衍射和光刻技術息息相關，由于投射掩膜版上面有小的清楚圖型而且間隔窄小。曝出時，光務必根據這種圖型。衍射樣圖搶走了曝出動能，并使光散發，造成光刻技術上不必曝出的地區被曝出。這個問題在孔鐘頭更比較嚴重，比如小到200nm的觸碰孔。由衍射造成的干預樣圖能使小觸碰孔和小線框難以被光刻技術。

伴隨著世界各國銷售市場對激光器光線轉換的急切要求，根據衍射電子光學的各種解決方法愈來愈遭受銷售市場的高度重視，特別是在在坡屋頂整形美容行業，多聚焦點激光切割等層面運用有著關鍵獨立專利權。值得一提的是，例如分束、勻光、長焦鏡頭深、渦流光線、點陣式、特點圖型等元器件及控制模塊在各行業也是有關鍵運用。